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J-GLOBAL ID：200903028635093983
アライメント方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993045088
Publication number (International publication number)：1994260390
Application date： Mar. 05, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：
【要約】【目的】この発明は、表面荒れしたウェ-ハやスパッタなどによる低段差のアライメントマ-クの正確な信号検出とマ-ク位置決定を可能とするアライメント方法を提供することを目的とする。【構成】この発明のアライメント方法は、各色のフォトダイオ-ドでマ-ク部分と非マ-ク部分のコントラストが最大を示す色のフォトダイオ-ドでマ-ク位置を決定する第1の方法、各色のフォトダイオ-ドでマ-ク位置を検出し、その位置を平均化してマ-ク位置を決定する第2の方法、各色のフォトダイオ-ドでマ-ク部分と非マ-ク部分のコントラストの大きさの違いでマ-ク位置を決定する割合を定めマ-ク位置を決定する第3の方法のいずれかの方法と、CCDカラ-エリアセンサ27とを使用することにより、上記の目的を達成することが出来る。
Claim (excerpt)：
ウェ-ハ上のアライメントマ-クを露光装置でアライメントする場合、プロ-ブ光として可視光を用い、位置信号検出にセンサを使用することによりマ-ク位置を決定するアライメント方法において、上記各色のフォトダイオ-ドでマ-ク部分と非マ-ク部分のコントラストが最大を示す色のフォトダイオ-ドでマ-ク位置を決定する第1の方法、上記各色のフォトダイオ-ドでマ-ク位置を検出し、その位置を平均化してマ-ク位置を決定する第2の方法、上記各色のフォトダイオ-ドでマ-ク部分と非マ-ク部分のコントラストの大きさの違いでマ-ク位置を決定する割合を定めマ-ク位置を決定する第3の方法のいずれかの方法と、上記センサとしてCCDカラ-エリアセンサとを使用し、輝度信号だけでなく各色の分光波長信号も検出し、マ-ク位置を決定することを特徴とするアライメント方法。
IPC (4)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03B 27/32
, G03F 9/00
Cited by examiner (6)
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