原版作製方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：内田亘彦 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992331581
Publication number (International publication number)：1994180865
Application date： Dec. 11, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：

【要約】【構成】本発明の原版の作製方法は、凹凸パターンを有する樹脂成型品を2P法により作製するために使用される原版の作製方法であって、ガラス基板上に金属膜または金属酸化物膜を成膜した後、該金属膜または金属酸化物膜上に有機物質層を塗布形成し、次いで、有機物質層を凹凸状にパターニングし、更に該パターニングされた有機物層をレジストとして金属または金属酸化物膜をエッチングするものである。【効果】本発明によると、矩形の断面形状に近いパターンを有する原版を作製できるので、この原版を使用して複製版を成型すると、より精度のよい光ディスク、光磁気ディスク等の凹凸パターンやホログラムレンズ等のレリーフパターン、エンコーダ等の光反射体における繰り返しパターンを作製することができる。

Claim (excerpt)：

凹凸パターンを有する樹脂成型品を2P法により作製するために使用される原版の作製方法であって、ガラス基板上に金属膜または金属酸化物膜を成膜した後、該金属膜または金属酸化物膜上に有機物質層を塗布形成し、次いで、有機物質層を凹凸状にパターニングし、更に該パターニングされた有機物層をレジストとして金属または金属酸化物膜をエッチングすることを特徴とする原版の作製方法。

IPC (2)：

G11B 7/26 501 , G03H 1/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

特開昭62-145553
特開昭62-145553
特開昭63-302438

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