電子部品の製造装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：滝本智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997008273
Publication number (International publication number)：1998204615
Application date： Jan. 21, 1997
Publication date： Aug. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明は、高温に加熱しながらスパッタリングによって成膜が行え、にじみのないパターン形成が行える電子部品の製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】離間手段22によってマスク13と電子部品17を適切な離間寸法で離間させ、マスク13の位置決めをピン19及び貫通孔14,15で行うことにより、高温によるマスクの変形を制御している。

Claim (excerpt)：

加熱室と、この加熱室内に配置される電子部品に対向してセットされるマスクと、このマスクを前記電子部品から所定寸法離間させる離間手段と、前記マスクの開口部を介して前記電子部品にスパッタリングを行うスパッタリング手段とを備え、前記離間手段によりマスクと前記電子部品とを最終スパッタ膜よりも小さい寸法を離間させた電子部品の製造装置。

IPC (3)：

C23C 14/04 , H01L 21/203 , H03H 3/02

FI (3)：

C23C 14/04 A , H01L 21/203 S , H03H 3/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

透明電極膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-063036 Applicant：大日本印刷株式会社
厚膜の成膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-264277 Applicant：アイシン精機株式会社
特開昭56-074254

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