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J-GLOBAL ID：200903028674994874
光デバイスの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993136351
Publication number (International publication number)：1994347665
Application date： Jun. 08, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 光導波路が形成された基板上に光部品及び電子デバイスを搭載する光デバイスについて、段差プロセスを無くすことで、光部品と光導波路との光学的高効率結合を可能にさせ、かつ電子デバイスの電気配線、並びにパッドなどの形成も含めて全ての製造工程が基板スケールでの量産製造を可能とさせることにより、低コストな光デバイスの製造方法を与える。【構成】 光ファイバ3及び半導体光素子8などの光部品とSi基板1上に形成された光導波路2が光学的に結合し、光ファイバ3及び半導体素子8などの光部品を位置決め固定するためのV溝形成用マスクパターン12や位置合わせマーカ9b、光導波路2の光軸を設定する位置合わせマーカ9a、電極パッド10、並びに電気配線11を、光導波路2を形成する前にSi基板1に形成する。
Claim (excerpt)：
光ファイバ及び半導体光素子などの光部品と基板上に形成された光導波路とが前記基板上で光学的に結合し、かつ前記光部品が前記基板上に固定された光デバイスの製造方法において、前記光部品を位置決め固定するためのマーカ、前記光導波路の光軸を設定するためのマーカ、溝形成用マスクパターン、前記光部品用及び電子デバイス用の電気配線、並びにパッドを、前記光導波路を形成する前に前記基板に形成することを特徴とする光デバイスの製造方法。
Patent cited by the Patent：
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