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J-GLOBAL ID：200903028675317159

光学式壁面形状測定方法および測定装置

Inventor： 西沖 暢久 ,  岡本 清和
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (1)： 木下 實三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998290616
Publication number (International publication number)：2000121330
Application date： Oct. 13, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 非貫通の微小径孔の測定を行え、しかも、ワーク材質や測定面粗さに制約を受けることなく精度のよい測定を行うことができる光学式壁面形状測定方法および測定装置を提供する。【解決手段】 照射光学系11からの光束を測定対象穴2の壁面に照射し、その壁面における反射光を観察像として捉え、観察像の像面における位置情報から測定対象壁面の形状を測定する方法において、前記測定対象穴2に透明な微小球体3を付着させ、この球体3により入射光に平行に反射した戻り光を観察光学系21で観察像として捉えて微小球体3の空間位置を求め、これらの空間位置情報により測定対象穴2の形状を求める。

Claim (excerpt)：

光束を測定対象の壁面に照射し、この壁面における反射光を観察像として捉え、この観察像の像面における位置情報から前記測定対象の壁面形状を測定する光学式壁面形状測定方法において、前記測定対象の壁面上に透明な微小球体を付着させ、この微小球体により入射光に平行に反射した戻り光を観察光学系で観察像として捉え、この観察像を基に前記微小球体の空間位置を求め、この空間位置情報により前記測定対象の壁面形状を求めることを特徴とする光学式壁面形状測定方法。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/12

FI (2)：

G01B 11/24 B ,  G01B 11/12 Z

F-Term (22)：

2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA19 ,  2F065AA27 ,  2F065AA51 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF17 ,  2F065FF67 ,  2F065HH01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ14 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL11 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065SS02 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13