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J-GLOBAL ID：200903028682753673

表面洗浄装置および表面洗浄方法

Inventor： 村本 准一
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 佐藤 隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002108361
Publication number (International publication number)：2003303799
Application date： Apr. 10, 2002
Publication date： Oct. 24, 2003
Summary：

【要約】【課題】薬液を使用しないエアロゾル洗浄法において、被処理体の構造へ損傷を与える程度にまでエアロゾルの吹き付け速度を増加させることなく、付着物の除去効率を向上させることのできる表面洗浄装置および表面洗浄方法を提供する。【解決手段】エアロゾル噴出手段5により被処理体10の被処理面に向けて浮遊する微粒子を含むエアロゾル51が吹き付けられ、レーザ光照射手段4により光学窓22を介して洗浄室2内にレーザ光LBが照射されることにより、エアロゾル51に含まれる微粒子を液化あるいは気化させる。このようにして液化あるいは気化された微粒子による流動作用により、被処理体10の被処理面に付着した付着物が除去される。

Claim (excerpt)：

被処理体の被処理面に向けて浮遊する微粒子を含むエアロゾルを吹き付けるエアロゾル噴出手段と、レーザ光を照射して、前記エアロゾルに含まれる前記微粒子を液化あるいは気化させるレーザ光照射手段とを有する表面洗浄装置。

IPC (4)：

H01L 21/304 645 ,  H01L 21/304 ,  B08B 5/00 ,  B08B 7/00

FI (5)：

H01L 21/304 645 B ,  H01L 21/304 645 A ,  H01L 21/304 645 D ,  B08B 5/00 Z ,  B08B 7/00

F-Term (7)：

3B116AA01 ,  3B116AA46 ,  3B116BB22 ,  3B116BB82 ,  3B116BC01 ,  3B116CD11 ,  3B116CD35