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J-GLOBAL ID：200903028693935749

試料採取、調製装置と組み合わせた自動ESR測定システム

Inventor： 渡辺 孝司
Applicant, Patent owner： 日機装株式会社
Agent (1)： 福村 直樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000248913
Publication number (International publication number)：2002062271
Application date： Aug. 18, 2000
Publication date： Feb. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】 製造プロセスからの試料の採取からデータ処理までの一連の操作を自動的に行うことのでき、試料採取及び移送時の危険性がなく、短時間で、測定誤差が少なく、省力化されたESR測定を行うことのできるESRシステムを提供することを目的とする。【解決手段】 試料を採取し、試料調製部に採取した試料を移送する試料採取部と、前記試料採取部から移送された試料の調製を行い、ESR測定部に調製した試料移送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴を測定するESR測定部と、前記試料採取部、前記試料調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有する自動オンラインESR測定システム。

Claim (excerpt)：

採取された試料の調製を行い、調製した試料をESR測定部に移送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴を測定するESR測定部と、前記試料調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有することを特徴とするESR装置。

IPC (5)：

G01N 24/10 510 ,  G01N 24/10 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/00 ,  G01N 1/22

FI (6)：

G01N 24/10 510 L ,  G01N 24/10 510 A ,  G01N 1/00 101 G ,  G01N 1/00 101 M ,  G01N 1/00 101 L ,  G01N 1/22 N