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J-GLOBAL ID:200903028693935749

試料採取、調製装置と組み合わせた自動ESR測定システム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 福村 直樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000248913
Publication number (International publication number):2002062271
Application date: Aug. 18, 2000
Publication date: Feb. 28, 2002
Summary:
【要約】【課題】 製造プロセスからの試料の採取からデータ処理までの一連の操作を自動的に行うことのでき、試料採取及び移送時の危険性がなく、短時間で、測定誤差が少なく、省力化されたESR測定を行うことのできるESRシステムを提供することを目的とする。【解決手段】 試料を採取し、試料調製部に採取した試料を移送する試料採取部と、前記試料採取部から移送された試料の調製を行い、ESR測定部に調製した試料移送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴を測定するESR測定部と、前記試料採取部、前記試料調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有する自動オンラインESR測定システム。
Claim (excerpt):
採取された試料の調製を行い、調製した試料をESR測定部に移送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴を測定するESR測定部と、前記試料調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有することを特徴とするESR装置。
IPC (5):
G01N 24/10 510 ,  G01N 24/10 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/00 ,  G01N 1/22
FI (6):
G01N 24/10 510 L ,  G01N 24/10 510 A ,  G01N 1/00 101 G ,  G01N 1/00 101 M ,  G01N 1/00 101 L ,  G01N 1/22 N

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