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J-GLOBAL ID：200903028699105462

ポジ型レジスト組成物

Inventor：
佐藤 健一郎

About 佐藤 健一郎

, 
上西 一也

About 上西 一也


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002101333
Publication number (International publication number)：2002372784
Application date： Apr. 03, 2002
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：
【要約】【課題】遠紫外光、特にArFエキシマレーザー光を使用したミクロフォトファブリケーションに於いて好適に使用することができる、高感度であり、疎密依存性が小さく、エッチング時の表面荒れが少ないポジ型レジスト組成物を提供すること。【解決手段】(A)特定の2種の繰り返し単位を含有し、脂肪族環状炭化水素基を側鎖に有する酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、及び(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定の化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
Claim (excerpt)：
(A)脂肪族環状炭化水素基を側鎖に有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂として、下記一般式(Ia)で表される繰り返し単位と一般式(Ib)で表される繰り返し単位を含有する樹脂、及び(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【化1】式(Ia)及び(Ib)中、R1は独立に水素原子又はアルキル基を表し、Aは連結基を表す。式(Ia)中、R11は炭素数1〜4のアルキル基を表し、Zは炭素原子とともに脂環式炭化水素基を形成するのに必要な原子団を表す。式(Ib)中、R12〜R14は、各々独立に炭化水素基を表し、但し、R12〜R14のうち少なくとも1つは脂環式炭化水素基を表す。
IPC (3)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (26)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA10 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA15P ,  4J100BC02P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12P ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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