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J-GLOBAL ID：200903028731385057
光プロセスの動的画像診断装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 文廣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994219738
Publication number (International publication number)：1996086734
Application date： Sep. 14, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 光プロセスの分野において,生成した気相粒子の動的挙動を高い分解能で可視化して観測する光プロセスの状態を観測する画像診断装置に関し,気相粒子の二次元分布を容易に観測することができ,画像処理して粒子の動的挙動をディスプレイ表示することを目的とする。【構成】 光プロセスにより発生する気相粒子の空間分布を観測するプローブ光を発光するパルスプローブレーザと,該プローブ光を入射してシートビーム光を生成して空間分布する該気相粒子を通過するように出力するシートビーム光学装置と,該気相粒子が該シートビーム光により発光する光の二次元分布を撮影する撮像装置と,該撮像装置により得られる画像データを画像処理する画像処理手段と,該画像処理の結果を出力する出力装置とを備える構成を持つ。
Claim (excerpt)：
光プロセスにより発生する気相粒子の空間分布を観測するプローブ光を発光するパルスプローブレーザと,該プローブ光を入射してシートビーム光を生成して空間分布する該気相粒子を通過するように出力するシートビーム光学装置と,該気相粒子が該シートビーム光により発光する光の二次元分布を撮影する撮像装置と,該撮像装置により得られる画像データを画像処理する画像処理手段と,該画像処理の結果を出力する出力装置とを備えたことを特徴とする光プロセスの動的画像診断装置。
IPC (5)：
G01N 15/00
, G01N 15/02
, G01N 21/39
, G01N 21/64
, H01S 3/03
