Pat

J-GLOBAL ID：200903028745908567

複合荷電粒子ビーム装置

Inventor： 岩崎 克彦 ,  保栖 真輝 ,  高橋 幸司 ,  細田 治
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993177752
Publication number (International publication number)：1995037538
Application date： Jul. 19, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 試料の移動に伴う2つの光学系の調整を簡単に行うことができる複合荷電粒子ビーム装置を実現する。【構成】 焦点合わせ制御回路22における焦点合わせ用の信号と制御コンピュータ25からの試料の基準高さにおける焦点合わせ信号に基づいて、高さ計算回路24は試料2の表面の高さ変化量を演算して求める。高さ変化量は、電子ビームのアライメント回路26と電子ビームの焦点合わせ制御回路23に供給される。アライメント回路26では、試料上のイオンビームの照射位置に電子ビームの照射位置を一致させるための偏向信号を作成する。アライメント回路26で作成された信号は、偏向電極19に供給され、電子ビームはアライメントされる。また、電子ビームの焦点合わせ制御回路23は、この高さ変化量に基づき、電子ビームの焦点合わせ信号を作成し、電子ビームの対物レンズ20に供給する。その結果、試料面に焦点合わせが行われた電子ビームが照射される。

Claim (excerpt)：

イオン源と、イオン源からのイオンビームを試料上に細く集束するためのイオンビーム集束手段と、イオンビームを偏向するためのイオンビーム偏向手段と、電子源と、電子源からの電子ビームを試料上に細く集束するための電子ビーム集束手段と、電子ビームを偏向するための電子ビーム偏向手段と、一方のビームの焦点合わせ用の集束手段の調整量に応じて、他方のビームの偏向手段を調整し、他方のビームのアライメント調整を行う制御手段とを備えた複合荷電粒子ビーム装置。

IPC (4)：

H01J 37/21 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/28