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J-GLOBAL ID：200903028765624107

硬質炭素膜被覆部材

Inventor：
織田 一彦

About 織田 一彦


Applicant, Patent owner：
住友電気工業株式会社

About 住友電気工業株式会社


Agent (1)： 鎌田 文二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998179013
Publication number (International publication number)：2000008155
Application date： Jun. 25, 1998
Publication date： Jan. 11, 2000
Summary：
【要約】【課題】 中間層と硬質炭素膜との間の密着性を向上させようとするものである。【解決手段】 基材上に複数の被膜層を積層してなり、上記基材を、超硬合金、サーメット、鋼材、窒化ケイ素、ジルコニア、炭化ケイ素、アルミナ、アルミニウム合金、マグネシウム合金、又はチタン合金のいずれかから選び、上記被膜層の最外層を硬質炭素層から形成し、上記基材と最外層の間の中間層のうち、最外層に内接する中間層を、4族の金属、5族の金属、6族の金属、Si、Al、又はGeの中から選ばれる1種又は複数種の金属を含む金属の炭化物、窒化物、又は炭窒化物とし、上記最外層とこの中間層との界面部に存在する酸素濃度を、最大値で3at%、又は、界面を基準に±50nmの範囲の平均値で2at%以下とする。
Claim (excerpt)：
基材上に複数の被膜層を積層してなり、上記基材は、超硬合金、サーメット、鋼材、窒化ケイ素、ジルコニア、炭化ケイ素、アルミナ、アルミニウム合金、マグネシウム合金、又はチタン合金のいずれかから選ばれ、上記被膜層の最外層は硬質炭素層からなり、上記基材と最外層の間の中間層のうち、最外層に内接する中間層は、4族の金属、5族の金属、6族の金属、Si、Al、又はGeの中から選ばれる1種又は複数種の金属を含む金属の炭化物、窒化物、又は炭窒化物であり、上記最外層とこの中間層との界面部に存在する酸素濃度が、最大値で3at%、又は、界面を基準に±50nmの範囲の平均値で2at%以下である硬質炭素膜被覆部材。
IPC (5)：
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23C 28/04
FI (6)：
C23C 14/06 F ,  C23C 14/06 P ,  B23B 27/14 A ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23C 28/04
F-Term (53)：
3C046FF02 ,  3C046FF03 ,  3C046FF04 ,  3C046FF05 ,  3C046FF09 ,  3C046FF17 ,  3C046FF18 ,  3C046FF22 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA34 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA57 ,  4K029BA58 ,  4K029BA60 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BC02 ,  4K029BD03 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029CA06 ,  4K029DD04 ,  4K029DD06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030BA28 ,  4K030BA36 ,  4K030BA38 ,  4K030BA41 ,  4K030BB03 ,  4K030CA02 ,  4K030CA03 ,  4K030CA05 ,  4K030CA17 ,  4K030FA01 ,  4K030FA10 ,  4K030LA21 ,  4K030LA22 ,  4K030LA23 ,  4K044AA02 ,  4K044AA06 ,  4K044AA09 ,  4K044AA13 ,  4K044AB02 ,  4K044BA18 ,  4K044BB02 ,  4K044BC05 ,  4K044BC06 ,  4K044CA13 ,  4K044CA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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