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J-GLOBAL ID：200903028770037279

フラットパネル・ディスプレイ検査システム

Inventor： ジェフリー・エイ・ホウソーン ,  ダニエル・エイチ・スコット ,  ロバート・イー・カミンズ ,  ピーター・ジェイ・フィーコウスキー
Applicant, Patent owner： フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996058219
Publication number (International publication number)：1996338787
Application date： Feb. 22, 1996
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：

【要約】【課題】 フラットパネル・ディスプレイを試験するための改良された試験システムおよび方法を提供する。【解決手段】 ディスプレイは高解像度カメラの下方に位置決めされる。表示画像をカメラに対して増分的にシフトさせ、様々なシフト位置で輝度一様性を検出することにより、エイアリシングのための検出画像のエラーが回避される。次いで、この結果得られる正確なディスプレイを、最大信号を生成する検出器画素を識別することによって再構築することができる。次いで、検出された最大画素信号のみを使用して単一の画像を再構築することができる。再構築された画像は、エイリアシングの影響を受けていないものである。

Claim (excerpt)：

表示画素の周期的なアレイによって形成される表示画像を電子的に検出する方法において、前記表示画像を観察する空間的に周期的な検出手段を位置決めするステップであって、その検出手段は検出器素子の第1の空間的に周期的なアレイを含み、そのアレイに表示画素からなる第2の空間的に周期的なアレイによって形成される前記表示画像が合焦され、検出器素子それぞれに入射する光の強度に対応する信号を生成するステップと、前記検出器素子が前記表示画像に対して第1の位置にあるときに前記検出器素子によって生成され、第1のモアレ像干渉縞を含む第1の信号を検出するステップと、前記画像を前記検出器素子のラインに対する軸に沿って第2の位置へシフトさせるステップと、前記検出器要素が前記表示画像に対して前記第2の位置にあるときに前記検出器素子によって生成され、第2のモアレ像干渉縞を含む第2の信号を検出するステップと、前記表示画素の各サンプリング・ポイントで前記検出器素子によって生成される前記第1の信号および前記第2の信号の強度レベルを平均して、前記検出器素子に入射する前記表示画像によって形成される前記第1のモアレ像干渉縞および前記第2のモアレ像干渉縞の影響を低減させるステップとを含む方法。

IPC (3)：

G01M 11/00 ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101

FI (3)：

G01M 11/00 T ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101