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J-GLOBAL ID：200903028822756180

搬送装置

Inventor： 近藤 文雄 ,  篠崎 弘行 ,  梶山 雅章 ,  松村 正夫 ,  吉岡 毅
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993276150
Publication number (International publication number)：1995108159
Application date： Oct. 07, 1993
Publication date： Apr. 25, 1995
Summary：

【要約】【目的】 プロセス装置とトンネル搬送装置との境界領域においてスムーズにウエハ等の被搬送物を移送することのできるトンネル搬送装置を提供する。【構成】 トンネル7内部に被搬送物を搭載する搬送台車9を備え、トンネル隔壁8により外気を遮断した状態で被搬送物を搬送するトンネル搬送装置において、前記トンネル7内部に前記被搬送物5を載置する置台1と、該置台1を上下方向に前記トンネル7内部が外気を遮断した状態のまま移動し、該置台1の移動により前記搬送台車9の通行が妨げられないようにした。

Claim (excerpt)：

トンネル内部に被搬送物を搭載する搬送台車を備え、トンネル隔壁により外気を遮断した状態で被搬送物を搬送するトンネル搬送装置において、前記トンネル内部に前記被搬送物を載置する置台と、該置台を上下方向に前記トンネル内部が外気を遮断した状態のまま移動し、該置台の移動により前記搬送台車の通行が妨げられないようにしたことを特徴とする搬送装置。

IPC (3)：

B01J 3/02 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開平1-228530
  
• 磁気浮上搬送装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-291328   Applicant：三菱重工業株式会社