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J-GLOBAL ID：200903028851390763
連続シート状材料の表面処理方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
蔦田 璋子 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995051369
Publication number (International publication number)：1996244123
Application date： Mar. 10, 1995
Publication date： Sep. 24, 1996
Summary：
【要約】【目的】 真空処理室内において連続して走行する連続シート状材料に対して、プラズマ等による表面改質処理や、スパッタ法やプラズマCVD法等による成膜処理などの表面処理を行なう際に、連続シート状材料を支持するロール間隔が長くても、該連続シート状材料を良好に連続走行させて表面処理することができる連続シート状材料の表面処理方法を提供する。【構成】 連続シート状材料Wをその幅方向が鉛直方向となるように連続走行させつつ表面処理を行なう。
Claim (excerpt)：
真空処理室内において連続して走行する連続シート状材料に対して、プラズマ等による表面改質処理や、スパッタ法やプラズマCVD法等による成膜処理などの表面処理を行なう連続シート状材料の表面処理方法において、前記連続シート状材料をその幅方向が鉛直方向となるように連続走行させつつ前記表面処理を行なうことを特徴とする連続シート状材料の表面処理方法。
IPC (7)：
B29C 71/04
, C08J 7/00 306
, C08J 7/00 307
, C23C 14/56
, C23C 16/44
, G02F 1/13 101
, B29L 7:00
B29C 71/04
, C08J 7/00 306
, C08J 7/00 307
, C23C 14/56 A
, C23C 16/44 F
, G02F 1/13 101
