感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998037944
Publication number (International publication number)：1999223950
Application date： Feb. 05, 1998
Publication date： Aug. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性および解像度が優れ、かつ感度、現像性、パターン形状、ドライエッチング耐性等を含めた特性バランスにも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)酸解離性基として下記一般式(1)で表される基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基および/または該基中のラクトン環が解離したときアルカリ可溶となる樹脂、【化1】〔一般式(1)において、R1 〜R4 は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または5〜8員環の環状アルキル基を示すか、またはR1 とR2 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成し、あるいはR3 とR4 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成しており、nは1〜4の整数である。〕、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。

Claim (excerpt)：

(A)酸解離性基として下記一般式(1)で表される基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基自体および/または該酸解離性基中のラクトン環が解離したときアルカリ可溶となる樹脂、【化1】〔一般式(1)において、R1 〜R4 は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または5〜8員環の環状アルキル基を示すか、またはR1 とR2 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成し、あるいはR3 とR4 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成しており、nは1〜4の整数である。〕、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

ポジ型ホトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-171947 Applicant：東京応化工業株式会社

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