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J-GLOBAL ID:200903028906043944

電子顕微鏡等の試料冷却ホルダ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992225889
Publication number (International publication number):1994076777
Application date: Aug. 25, 1992
Publication date: Mar. 18, 1994
Summary:
【要約】【目的】 一度の試料棒セットで複数個の試料の検鏡を行うことを可能にすると共に、耐震性を向上して高分解能の写真撮影を可能にし、かつ操作性良く試料押えを行うことを可能にする。【構成】 一端が冷却された熱伝導棒を収納する試料棒の先端に取り付けられ、電子線通過用の孔が開けられたキャップに摺動可能に挿入される試料ホルダであって、該試料ホルダに試料棒の長さ方向に複数個の試料を収納するようにしたことを特徴とする。
Claim (excerpt):
一端が冷却された熱伝導棒を収納する試料棒の先端に取り付けられ、電子線通過用の孔が開けられたキャップに摺動可能に挿入される試料ホルダであって、該試料ホルダに試料棒の長さ方向に複数個の試料を収納するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡等の試料冷却ホルダ。
IPC (2):
H01J 37/20 ,  H01J 37/26
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開昭61-200657

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