Pat

J-GLOBAL ID：200903028926342263

除振装置

Inventor： 浅田 克己 ,  涌井 伸二 ,  佐藤 幹夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992287070
Publication number (International publication number)：1994117481
Application date： Oct. 02, 1992
Publication date： Apr. 26, 1994
Summary：

【要約】【目的】 床振動の絶縁(除振)効果を損なうことなく外乱振動の抑制(制振)効果を向上させる。【構成】 駆動手段を有する精密機器が搭載される除振台、除振台を弾性的に支持する弾性支持手段、除振台を支持するアクチュエータ、除振台の振動を検出する振動センサ、振動センサの出力を補償してアクチュエータにフィードバックする振動制御補償手段、除振台の変位を検出する変位センサ、変位センサの出力を補償してアクチュエータにフィードバックする位置制御補償手段、および、振動センサの出力に基づき振幅の大きい外乱振動に対しては位置制御補償手段を高ゲインとし振幅の小さい床振動に対しては位置制御補償手段を低ゲインとする制御手段を具備する。また、駆動手段を有する精密機器が搭載される除振台、およびこの除振台を防振支持する支持機構を備えた除振装置において、除振装置の自由度方向と精密機器の自由度方向とは角度を有し一致しないようにする。

Claim (excerpt)：

駆動手段を有する精密機器が搭載される除振台、除振台を弾性的に支持する弾性支持手段、除振台を駆動するアクチュエータ、除振台の振動を検出する振動センサ、振動センサの出力を補償してアクチュエータにフィードバックする振動制御補償手段、除振台の変位を検出する変位センサ、変位センサの出力を補償してアクチュエータにフィードバックする位置制御補償手段、および、振動センサの出力に基づき振幅の大きい外乱振動に対しては位置制御補償手段を高ゲインとし振幅の小さい床振動に対しては位置制御補償手段を低ゲインとする制御手段を具備することを特徴とする除振装置。

IPC (3)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027