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J-GLOBAL ID：200903028941094640

プラズマ質量分析計

Inventor： 安田 誠 ,  村山 精一 ,  大石 公之助 ,  古賀 正太佳
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 中村 純之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994243844
Publication number (International publication number)：1995153420
Application date： Oct. 08, 1987
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】高感度な元素分析を可能とするプラズマ質量分析計を提供すること。【構成】プラズマを生成する空間に流れるガスを、この流れの中心部に配置した排気手段(開口部)に取り込むことで、該空間の周辺部から中心に向かうガスの流れを生じさせる。このガスの流速は、該空間に生成されるプラズマにおけるambipolor fieldによるイオンの拡散速度以上になるよう、開口部による排気量を設定する。これにより、高温のプラズマの中心部からのイオンの拡散が抑制されるため、プラズマ内に導入された試料を損失することなく分析することができる。

Claim (excerpt)：

内部にプラズマを生成するための電界を発生する導波管と、導波管内部にガスを供給する手段と、該導波管内部に配置された開口部を有する質量分離部から構成され、該導波管内部に流れるガスの密度を該ガスの流れの中心に向けて低く設定する手段を有することを特徴とするプラズマ質量分析計。

IPC (4)：

H01J 49/10 ,  H01J 27/16 ,  H01J 49/24 ,  G01N 27/62

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭51-004491
  
• 特開昭61-248348