Pat

J-GLOBAL ID：200903028944609404

柱状デバイス及び露光装置及びデバイス製造方法

Inventor： 稲 秀樹
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997057607
Publication number (International publication number)：1998256476
Application date： Mar. 12, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 露光に好適な新規形状のデバイス及びこのデバイスへの露光に好適な露光装置及び製造方法を提供すること。【解決手段】 デバイスとして柱状面に回路パターンが形成された柱状デバイスとすること及び柱状面を回転させて回路パターンを露光すること。

Claim (excerpt)：

形状が柱状であり、柱状面に回路パターンが形成されたことを特徴とする柱状デバイス。

IPC (2)：

H01L 27/00 301 ,  H01L 21/027

FI (3)：

H01L 27/00 301 Z ,  H01L 21/30 514 C ,  H01L 21/30 518