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J-GLOBAL ID：200903028950139789

濃縮膜を形成したシリコン導波路を用いた赤外吸収測定用セル

Inventor： 瀬山 倫子 ,  杉本 岩雄
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 高山 道夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999163210
Publication number (International publication number)：2000352554
Application date： Jun. 10, 1999
Publication date： Dec. 19, 2000
Summary：

【要約】【課題】 従来の赤外吸収測定法では液体クロマトグラフィーの技術を応用する必要があり、多大の手間と時間を要していた。【解決手段】 赤外吸収測定用セル15の下層部には、酸化ケイ素層7を介して水中より有機物を選択的に取り込む濃縮膜6を形成したシリコン導波路8があり、このシリコン導波路8の濃縮膜6を形成しない面に赤外光10をシリコン導波路8へ導入するための赤外光導入結晶素子9を配置した構成となっている。また、上層部は、液体試料の測定のために濃縮膜6と液体試料とを接触させる時に液体試料を保持させるようになっている。すなわち、Oリング4、液体試料だめ5、シート3、そして液体試料導入口1を持つアルミニューム製蓋2とが積層されたものである。これにより、試料水を前処理なしに導入しても赤外吸収測定を可能にしている。

Claim (excerpt)：

シリコンウェハーから切り出したシリコン導波路(8)と、このシリコン導波路(8)の片面に形成した酸化層を介して有機物を濃縮するための濃縮膜(6)と、前記シリコン導波路(8)の他面に密着させた赤外光導入結晶素子(9)とから成る下層部と、液体試料を導入する液体試料導入口(1)と、前記液体試料を保持させるためのOリング(4)、シート(3)、アルミニューム製蓋(2)を組み上げた上層部とを合わせもつことを特徴とする濃縮膜を形成したシリコン導波路を用いた赤外吸収測定用セル。

IPC (2)：

G01N 21/03 ,  G01N 21/27

FI (2)：

G01N 21/03 Z ,  G01N 21/27 C

F-Term (27)：

2G057AA02 ,  2G057AB02 ,  2G057AB07 ,  2G057AB09 ,  2G057AC01 ,  2G057AD02 ,  2G057BA01 ,  2G057BB10 ,  2G057BD04 ,  2G057BD08 ,  2G057CB03 ,  2G057DB10 ,  2G057DC07 ,  2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059BB11 ,  2G059CC09 ,  2G059CC20 ,  2G059DD05 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF06 ,  2G059GG00 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ15 ,  2G059KK01