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J-GLOBAL ID：200903028952334910

アクティブマトリクス基板及びその製造方法

Inventor： 中田 慎一
Applicant, Patent owner： 鹿児島日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000078504
Publication number (International publication number)：2001264810
Application date： Mar. 21, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】IPS方式の液晶表示装置における画素電極と対向電極は、しきい値電圧が低くてより均一な横電界を得るために櫛歯状で、互いに櫛歯が挟み合い、電極配線幅や配線間の距離を緻密に形成される。しかし、電極配線幅や配線間の距離を緻密に形成する結果として、電極間の高さの関係によってラビングが不足あるいはラビングされないような場所が発生してしまう。【解決手段】保護膜8の上に形成した平坦化膜9をアクリル樹脂をベースとした感光性樹脂より形成することで工程数を増やすことなく平坦化膜9の形成を行うことができ、TFTおよびドレイン電極6a、共通電極3a、画素電極17aの凹凸に起因したラビング不良を抑制することができる。

Claim (excerpt)：

基板の上に設けられたゲート電極を兼ねるゲート配線及び共通電極を兼ねる共通配線と、前記ゲート配線の上方に第1絶縁膜を挟んで設けられた半導体層と、ソース電極、画素電極を兼ね前記半導体層と接続されるソース配線及びドレイン電極を兼ね前記半導体層と接続されるドレイン配線と、前記半導体層、前記ソース配線、前記ドレイン配線を含む前記基板の表面を覆う第2絶縁膜及びその上の第3絶縁膜と、からなり、前記共通電極及び前記ソース配線は、互いに併行するそれぞれ共通電極及び画素電極を有しており、前記共通電極と前記画素電極との間に電圧を印加することにより液晶の向きを制御するアクティブマトリクス基板であって、前記第2絶縁膜は、その上層部分が感光性樹脂からなる平坦化膜であることを特徴とするアクティブマトリクス基板。

IPC (7)：

G02F 1/1368 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (7)：

G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 Z ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 619 A ,  H01L 29/78 627 A

F-Term (77)：

2H090HA03 ,  2H090HA04 ,  2H090HB07X ,  2H090HC05 ,  2H090HC10 ,  2H090HD03 ,  2H090HD05 ,  2H090LA04 ,  2H092GA14 ,  2H092JA28 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA47 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092JB33 ,  2H092JB37 ,  2H092JB38 ,  2H092JB56 ,  2H092JB57 ,  2H092JB58 ,  2H092KB25 ,  2H092MA13 ,  2H092MA16 ,  2H092MA17 ,  2H092NA04 ,  5C094AA03 ,  5C094AA12 ,  5C094AA43 ,  5C094AA55 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA13 ,  5C094DA15 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA10 ,  5C094EB02 ,  5C094ED03 ,  5C094ED14 ,  5C094ED20 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F110AA18 ,  5F110BB01 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG45 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ19

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-092184   Applicant：株式会社日立製作所
• 液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-222952   Applicant：株式会社日立製作所