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J-GLOBAL ID：200903028980787513
距離計測方法及び装置及びこの方法を記録した記録媒体
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 富士弥 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997311667
Publication number (International publication number)：1999142118
Application date： Nov. 13, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ステージに計測対象物を設置してステージ移動により広範囲な距離計測を行う際に、画像処理手法でステージの要求精度を緩和しつつ、高精度な製品計測を可能にする画像位置計測方法及び装置を提供する。【解決手段】 同一X-Yステージ3に、測定試料1と共に参照画像と一致する基本画像を一定間隔で配置した計測用画像パターン2を設置する。ステージ3を移動し測定試料1をカメラ5で撮影する際には、カメラ6で計測用画像パターン2をも撮影する。画像位置計測手段7は、画像照合により、測定試料1の測定対象部分と基本画像を検出し、それぞれの位置を高精度に計測する。距離計算手段8は、この時のステージ3から概略の移動距離を獲得し基本画像の計測値と既知の基本画像間隔を組み合わせて、ステージ3の移動量を高精度に測定し、この測定値を用いて測定試料1の測定対象部分間の距離や寸法を計算する。
Claim (excerpt)：
測定対象物の画像をカメラで撮影し、予め記憶した画像との一致により測定対象部分の位置を検出し、2カ所の測定位置から距離または寸法の測定を行う方法で、カメラの撮影範囲より広範囲な領域を計測するために、該測定対象物をX-Yステージ上に設置し、該2カ所の測定位置の一方から他方への移動により計測領域を拡大する距離計測方法において、前記測定対象物を設置したX-Yステージ上に、特定の基本図形がカメラの撮影範囲に必ず含まれる程度の一定間隔で繰り返し配置されている計測用画像パターンを設置し、前記計測対象物の一方の測定位置で、前記測定対象物および前記計測用画像パターンをカメラにより撮影し、前記一方の測定位置で撮影したそれぞれの画像をあらかじめ記憶させてある前記測定対象物の参照画像および前記基本図形の参照画像と比較、照合することにより、該撮影した画像から測定対象部分および一つの基本図形を検出してそれぞれの位置を計測し、前記X-Yステージが前記移動に対応して前記計測用画像パターン中の基本図形の該当個数が判別できる程度の精度で出力する移動距離を獲得し、前記測定対象物の他方の測定位置で、前記測定対象物および前記計測用画像パターンをカメラにより撮影し、前記他方の測定位置で撮影したそれぞれの画像をあらかじめ記憶させてある前記測定対象物の参照画像および前記基本図形の参照画像と比較、照合することにより、該撮影した画像から測定対象部分および一つの基本図形を検出してそれぞれの位置を計測し、前記獲得した移動距離と前記計測用画像パターンを構成する基本図形の繰り返し間隔から前記X-Yステージが出力した移動距離に対応する基本図形数を求め、該基本図形数と前記計測した基本図形の位置の各計測値とを合成することによって該X-Yステージの移動距離を測定し、前記計測した測定対象部分の位置と前記測定したX-Yステージの移動距離により前記測定対象物の距離または寸法を測定する、ことを特徴とする距離計測方法。
IPC (5)：
G01B 11/02
, G01B 11/00
, G01B 21/00
, G06T 7/00
, G06T 7/60
G01B 11/02 H
, G01B 11/00 H
, G01B 21/00 L
, G06F 15/62 400
, G06F 15/70 350 J
