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J-GLOBAL ID：200903028982389060

面合わせ方法,位置制御機構および該機構を有する情報処理装置

Inventor： 多川 昌宏 ,  宮▲崎▼ 俊彦 ,  黒田 亮 ,  川瀬 俊光 ,  紫藤 俊一 ,  酒井 邦裕 ,  小口 高弘 ,  山野 明彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993257171
Publication number (International publication number)：1995110969
Application date： Oct. 14, 1993
Publication date： Apr. 25, 1995
Summary：

【要約】【目的】 面合わせ方法を、高速走査時においても走査面と記録媒体の表面とを精密に平行にすることができるようにする。【構成】 分波器41を用いて、トンネル電流を示す信号を、任意の周波数領域を含む複数の周波数帯に分割する。分割した複数の周波数帯の中から、記録媒体1の傾きに由来する周波数(XY方向微動・粗動機構22の可動部の固有振動数)を選択し、選択した周波数の振幅ができるだけゼロになるように、第2のチルト機構21を用いて記録媒体1の傾きを微補正する。具体的には、第2のチルト機構21を構成している圧電素子に所定の電圧を印加することにより、記録媒体1の傾きを微補正する。

Claim (excerpt)：

情報を記録するための記録媒体と、該記録媒体に対向して設けられた、該記録媒体へ所定の電圧を印加するための複数のプローブ電極と、該複数のプローブ電極の傾きを補正するための第1のチルト機構を有する第1の面合わせ手段と、前記記録媒体の傾きを補正するための第2のチルト機構を有する第2の面合わせ手段と、前記記録媒体と前記複数のプローブ電極とを相対的に移動させるための相対移動手段とを含み、前記複数のプローブ電極と前記記録媒体との間の距離に依存する相互作用を検出しながら該複数のプローブ電極を該記録媒体に対して相対的に走査させる情報処理装置に用いられる、前記複数のプローブ電極と前記記録媒体との相対移動により生じる走査面と前記記録媒体の表面との面合わせを行うための面合わせ方法において、前記相対移動手段により前記記録媒体を前記複数のプローブ電極に対して低速で走査するときには、前記相互作用を検出して得られる該記録媒体の表面状態または記録情報に対応する信号に応じて、前記第1のチルト機構および前記第2のチルト機構の少なくとも一つを用いて、前記走査面と前記記録媒体の表面との粗い面合わせを行い、前記相対移動手段により前記記録媒体を前記複数のプローブ電極に対して高速で走査するときには、前記相互作用を検出して得られる前記相対移動手段のn次の固有振動数(n=0,1,2......)に対応する信号成分の振幅をゼロまたは最小値とするように、前記第1のチルト機構および前記第2のチルト機構の少なくとも一つを用いて、前記走査面と前記記録媒体の表面との精密な面合わを行うことを特徴とする面合わせ方法。