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J-GLOBAL ID：200903028999695695

基板処理装置

Inventor： 林 昭成 ,  谷山 智志
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 宮本 治彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999119308
Publication number (International publication number)：2000311935
Application date： Apr. 27, 1999
Publication date： Nov. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】装置を大きくせずに基板を収納する容器数を確保可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】FOUP回転収容棚25およびその3段の棚27は回転機構体26の回りに回転可能である。3段の各棚27に、回転機構体26に対して前方、後方の両側に2つのFOUP13を一直線上であって同一方向を向いた状態でそれぞれ収容する。FOUP搬送機22によって、2つのFOUP13が一直線上であって、同一方向を向いて配置されるようにFOUP13をFOUP回転収容棚25の3段の各棚27にそれぞれ搬入し、かつ一直線上に同一方向を向いて配置されたFOUP13をFOUP回転収容棚25からそれぞれ搬出する。

Claim (excerpt)：

基板を処理する基板処理部と、前記基板を収納する容器を複数収容する容器収容棚と、前記容器収容棚に前記容器を搬入および/または前記容器収容棚から前記容器を搬出する容器搬送機とを備え、前記容器収容棚が回転中心の回りに回転可能であり、前記容器収容棚が、前記回転中心に対して少なくとも一方の側に、少なくとも2つの前記容器を一直線上に同一方向を向いて配置した状態で収容可能であり、前記容器搬送機が、前記少なくとも2つの容器が前記一直線上に前記同一方向を向いて配置されるように前記容器を前記容器収容棚に搬入可能および/または前記一直線上に前記同一方向を向いて配置された前記容器を前記容器収容棚から搬出可能であることを特徴とする基板処理装置。

F-Term (17)：

5F031CA02 ,  5F031CA11 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA54 ,  5F031HA67 ,  5F031LA07 ,  5F031NA04