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J-GLOBAL ID：200903029006796560
ガラス基板の切断方法及びその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
八田 幹雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000009536
Publication number (International publication number)：2000219528
Application date： Jan. 18, 2000
Publication date： Aug. 08, 2000
Summary：
【要約】【課題】 マイクロクラックの生成が活性化でき、生産性の向上が図れるガラス基板の切断方法及びその装置を提供する。【解決手段】 各部位におけるエネルギ密度が均一であり、切断方向にレーザビームのスポットが縦長形をなすレーザビームを照射してガラス基板200の切断部を加熱する加熱工程と、レーザビームの照射により加熱された切断部を急冷させてマイクロクラックを形成する冷却工程とを有している。
Claim (excerpt)：
各部位におけるエネルギ密度が均一であり、切断方向にレーザビームのスポットが縦長形をなすレーザビームを照射してガラス基板の切断部を加熱する加熱工程と、前記レーザビームの照射により加熱された切断部を急冷させてマイクロクラックを形成する冷却工程とを有することを特徴とするガラス基板の切断方法。
IPC (2)：
C03B 33/09
, B23K 26/00 320
C03B 33/09
, B23K 26/00 320 E
