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J-GLOBAL ID：200903029027024339

ガス分解処理装置

Inventor： 青柳 広美 ,  西口 敏司 ,  中嶋 生朗
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 大塚 康徳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000082560
Publication number (International publication number)：2001259410
Application date： Mar. 23, 2000
Publication date： Sep. 25, 2001
Summary：

【要約】【課題】低濃度成分や多成分の揮発性有機化合物(VOC)を含有する気体に対しても、効率的に分解処理し、分解後の生成物を正確に分析評価することで、VOCガスに対して最適な分解処理条件を決定することができる装置を提供する。【解決手段】揮発性有機化合物を含む気体1を供給するための気体供給部3と、気体に含まれる揮発性有機化合物を分解するための分解リアクター6と、分解処理された気体を分析するための分析装置10と、気体供給部3と、分解リアクター6と、分析装置10とを直結するための気体流路20と、気体流路20に配置され、その気体流路内での揮発性有機化合物の吸着を防止するためのヒータ8とを具備する。

Claim (excerpt)：

揮発性有機化合物を含む気体を分解処理するためのガス分解処理装置であって、前記気体を供給するための気体供給部と、前記気体に含まれる前記揮発性有機化合物を分解するための分解リアクターと、分解処理された気体を分析するための分析装置と、前記気体供給部と、前記分解リアクターと、前記分析装置とを直結するための気体流路と、前記気体流路に配置され、該気体流路内での前記揮発性有機化合物の吸着を防止するための吸着防止手段とを具備することを特徴とするガス分解処理装置。

IPC (5)：

B01J 19/08 ,  G01N 27/62 ,  G01N 30/72 ,  G01N 30/88 ,  H05H 1/24

FI (5)：

B01J 19/08 E ,  G01N 27/62 C ,  G01N 30/72 A ,  G01N 30/88 C ,  H05H 1/24

F-Term (11)：

4G075AA03 ,  4G075AA52 ,  4G075BA01 ,  4G075BA05 ,  4G075CA02 ,  4G075CA13 ,  4G075CA47 ,  4G075EB21 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075FC15