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J-GLOBAL ID：200903029032081456
クリーンルーム用密閉式コンテナ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小林 傅
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992084411
Publication number (International publication number)：1993286567
Application date： Apr. 07, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ガス補給のために不活性ガスパージステーションまで移動させなくても済み、システムの負担を軽減することができる半導体製造システムにおいて用いられクリーンルーム用密閉式コンテナを提供することを目的とする。【構成】 ウエハを収納し内部を不活性ガス雰囲気にして半導体等製造システムの装置から装置へ搬送される密閉式コンテナ10において、当該コンテナは、一端が内部に開口し他端が外部に開口するガス通路孔31を有し、このガス通路孔の上記他端部に、可搬式の不活性ガスボンベ20が着脱可能に取付けられ、当該不活性ガスボンベはコンテナ漏れガス分補給用であることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
ウエハを収納し内部を不活性ガス雰囲気にして半導体等製造システムの装置から装置へ搬送される密閉式コンテナにおいて、当該コンテナは、一端が内部に開口し他端が外部に開口するガス通路孔を有し、このガス通路孔の上記他端部に、可搬式の不活性ガスボンベが着脱可能に取付けられ、当該不活性ガスボンベはコンテナ漏れガス分補給用であることを特徴とするクリーンルーム用密閉式コンテナ。
IPC (6)：
B65G 49/00
, B65D 85/38
, B65D 88/12
, B65G 49/07
, F24F 7/007
, H01L 21/02
