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J-GLOBAL ID：200903029038135191
ステージ装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994140738
Publication number (International publication number)：1995325176
Application date： Jun. 01, 1994
Publication date： Dec. 12, 1995
Summary：
【要約】【目的】 制御対象物を速く且つ正確に位置制御することができるステージ装置を得る。【構成】 互いに相対移動する第1部分と第2部分とを備えたステージ装置において、前記第1部分と第2部分との間に磁束発生手段と導電体とからなる制動力発生手段を備え、この制動力発生手段による電磁誘導作用によって前記第1部分と第2部分との相対速度に比例した制動力を前記第1部分と第2部分とに付与するステージ装置。
Claim (excerpt)：
互いに相対移動する第1部分と第2部分とを備えたステージ装置において、前記第1部分と第2部分との間に電磁誘導作用によって相対速度に比例した制動力を発生する制動力発生手段を備えたことを特徴とするステージ装置。
IPC (2)：
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