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J-GLOBAL ID：200903029082345128

非点収差補正装置

Inventor： 細川 史生
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000223628
Publication number (International publication number)：2002042707
Application date： Jul. 25, 2000
Publication date： Feb. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】 電子顕微鏡等のサイズを大きくすることなく3回非点収差も補正することができる非点収差補正装置を提供する。【解決手段】 制御ノブ21,22に入力された制御パラメータA3,θhを示す値は演算回路31に入力され、制御ノブ23,24に入力された制御パラメータA2,θqを示す値は演算回路32に入力される。演算回路31は、入力された制御パラメータA3,θhを用いて補正用6極場を生じさせる電流値を演算し、演算回路32は、入力された制御パラメータA2,θqを用いて補正用4極場を生じさせる電流値を演算する。そして、加算回路33は、演算回路31,32の演算値の加算値に相当する制御電流を各コイル11〜18に供給する。

Claim (excerpt)：

円周上に等角度間隔で配置された8極コイルまたは12極コイルを備えた非点収差補正装置であって、3回非点収差の補正用の6極場を発生するための制御電流と2回非点収差の補正用の4極場を発生するための制御電流とを足し合わせた制御電流を各コイルに流す制御回路を備えたことを特徴とする非点収差補正装置。

FI (2)：

H01J 37/153 B ,  H01J 37/153 A

F-Term (3)：

5C033HH01 ,  5C033HH03 ,  5C033JJ01