Pat

J-GLOBAL ID：200903029132908722

マイクロ波導入窓材料

Inventor： 寺尾 公一
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993131907
Publication number (International publication number)：1994345527
Application date： Jun. 02, 1993
Publication date： Dec. 20, 1994
Summary：

【要約】【構成】 純度が99wt%以上で、GHz周波数域におけるFQ値が20000以上であり、かつ平均結晶粒径が1〜20μmのアルミナセラミックスから構成されているマイクロ波導入窓材料。【効果】 プラズマ処理装置に使用した際には、長寿命で耐久性に優れ、プラズマ処理装置の安定したプロセス性能を維持することができる。また、本発明のマイクロ波導入窓材料は、半導体のエッチング処理、アッシング処理又はCVD等、プラズマを利用した処理を行う種々の型のマイクロ波プラズマ処理装置のマイクロ波導入窓として使用することができる。

Claim (excerpt)：

純度が99wt%以上で、GHz周波数域におけるFQ値(周波数×Q値)が20000以上であり、かつ平均結晶粒径が1〜20μmのアルミナセラミックスから構成されていることを特徴とするマイクロ波導入窓材料。

IPC (4)：

C04B 35/10 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 ,  H01L 21/302

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-229777
  
• 特開昭60-016861
  
• 特開平1-213910