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J-GLOBAL ID:200903029151271190

ジルコニウム系複合酸化物形成用塗布液及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 阿形 明 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994005996
Publication number (International publication number):1995206442
Application date: Jan. 24, 1994
Publication date: Aug. 08, 1995
Summary:
【要約】【構成】 (A)ジアシレートジルコニウム酸水和物、例えば一般式【化1】(式中のRは低級アルキル基)で表わされる化合物と、(B)ジルコニウム系複合酸化物を構成するジルコニウム以外の金属の可溶性塩及び、場合により(C)可溶性ポリマーを均一に溶解した溶液から成るジルコニウム系複合酸化物形成用塗布液とその製造方法である。【効果】 従来調製困難であった、ジルコニウム系複合酸化物被膜形成用塗布液を安定した状態のものとして提供することができる。この塗布液は、クラックのない均一な被膜を基板上に形成しうる。
Claim (excerpt):
(A)ジアシレートジルコニウム酸水和物と、(B)ジルコニウム系複合酸化物を構成するジルコニウム以外の金属の可溶性塩とを均一に溶解した溶液から成るジルコニウム系複合酸化物形成用塗布液。

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