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J-GLOBAL ID：200903029153958380

加工物表面の座標測定方法

Inventor： ラルフ ベルンハルト ,  ギュンター グルップ
Applicant, Patent owner： カール-ツアイス-スチフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995122856
Publication number (International publication number)：1995324928
Application date： May. 22, 1995
Publication date： Dec. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 質量慣性により発生される力の作用がCMMの測定誤差の中で補正されることを可能にする補正処理方法を提供する。【構成】 測定スライダの位置と少なくとも測定スライダ加速度との関数としてCMMたわみ特性を表す補正値の形で記憶し、補正値により、次いで加工物を座標測定する際にCMMにより測定されたデータを補正する。

Claim (excerpt)：

測定された値(Px,Py,Pz)を、記憶されている補正値により数学的に処理し、補正値(DB)が、座標測定機の弾性的たわみ特性を表す、座標測定機を用いる加工物表面の座標測定方法においてたわみ特性を表すパラメータを、機械の測定領域(30)の中のいくつかのプローブ位置において求め、前記パラメータの加速度に依存する成分を求め、測定スライダ(22,23,24)の位置(Px,Py,Pz)と少なくとも測定スライダ加速度(ax,ay,az)との関数として座標測定機のたわみ特性を表す補正値(c11,c22)の形で記憶し、補正値により、次いで加工物を座標測定する際に座標測定機により測定されたデータ(Px,Py,Pz)を補正することを特徴とする加工物表面の座標測定方法。

IPC (3)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 5/004 ,  G01B 5/20 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-178509
  
• 特開昭55-154408
  
• 特開昭63-182509
  
• 特表平1-503733