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J-GLOBAL ID：200903029201157483

ウエーハ研削用吸着盤

Inventor： 大貫 一雄
Applicant, Patent owner： 信越半導体株式会社
Agent (1)： 山下 亮一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992167997
Publication number (International publication number)：1994008087
Application date： Jun. 25, 1992
Publication date： Jan. 18, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 大口径のウエーハを吸着しても微小変形を生じず、ウエーハの高平担度な研削を可能ならしめるウエーハ研削用吸着盤を提供する。【構成】 中央部の円形凹部3に複数の環状溝5,6,7と連通溝8を形成した非通気性の一体型ハウジング2の円形凹部3内に、予めその外周部の一定幅にガラス浸透固化部10aを形成した、通気性円板状吸着プレート10を嵌め込んで接着固定する。ハウジング2をこれと同材質の非通気性ロータプレート11上に着脱自在に結着する。【効果】 吸着盤1の合せ面としては、ハウジング2とロータプレート11との合せ面Aだけとなり、しかも同材質なため、両者の熱膨張差による接着不良が発生せず、ウエーハWはその表面が均一に研削されてその平担度が高く保たれる。

Claim (excerpt)：

中央部に円形凹部を有し、該円形凹部に複数の環状溝と該環状溝を連通せしめる放射線状の溝を形成して成る非通気性の一体型ハウジングの前記円形凹部内に、予めその外周部の一定幅に流動性の無機ガラス接着剤を浸透せしめた後にこれを固化することによってガラス浸透固化部(非通気性部)を形成して成る、通気性を有する円板状吸着プレートを、その外周部及び/又は前記一体型ハウジングの内周部に無機ガラス接着剤を塗布した状態で嵌め込んでこれを接着固定し、前記ハウジングをこれと同材質の非通気性ロータプレート上に着脱自在に結着して構成されることを特徴とするウエーハ研削用吸着盤。

IPC (3)：

B23Q 3/08 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/304 321