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J-GLOBAL ID：200903029205247711

スパッタ用ターゲット

Inventor： 白川 享志
Applicant, Patent owner： アルプス電気株式会社
Agent (1)： 中尾 俊輔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992182284
Publication number (International publication number)：1994065730
Application date： Jul. 09, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 印字品質と印字寿命のバランスを良好にし、長時間の使用に際して組成およびスパッタ膜の特性にほとんど変化を生じさせないこと。【構成】 ほぼ20mol%〜50mol%のCrNと、ほぼ50mol%〜80mol%のCr2 O3 を含有し、CrNとCr2 O3 の合計をほぼ90mol%〜100mol%とし、汎用の一般的スパッタ条件であっても、極めて良好な耐摩耗性を有する保護層が形成できるようにしたもの。

Claim (excerpt)：

ほぼ20mol%〜50mol%のCrNと、ほぼ50mol%〜80mol%のCr2 O3 を含有し、CrNとCr2 O3 の合計をほぼ90mol%〜100mol%としたことを特徴とするスパッタ用ターゲット。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-249175
  
• 特開昭63-114668
  
• 特開平1-286863