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J-GLOBAL ID：200903029211255394

薬液の濃度管理方法

Inventor： 大熊 裕二
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996295022
Publication number (International publication number)：1998137572
Application date： Nov. 07, 1996
Publication date： May. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】 本発明は二つの液体を一定比率で混合したもの薬液を用いた基板の薬液処理における濃度管理方法に関し、沸騰現象を生じることなしに所定の温度で薬液の濃度を維持できる方法を得る。【解決手段】 第一の液体と該第一の液体より沸点の高い第二の液体とを一定の比率で混合した薬液を用い、該第一の液体と前記薬液との沸点との間の範囲の温度において被処理基板を薬液処理槽内にて薬液処理する際の薬液の濃度管理方法であって、該第一の液体の混合比率が該薬液での該第二の液体の混合比率より大きい補充用の薬液を補充し、該薬液の濃度を一定の比率に維持する。

Claim (excerpt)：

第一の液体と該第一の液体より沸点の高い第二の液体とを一定の比率で混合した薬液を用い、該第一の液体と前記薬液との沸点との間の範囲の温度において被処理基板を薬液処理槽内にて薬液処理する際の薬液の濃度管理方法であって、該第一の液体の混合比率が該薬液での該第二の液体の混合比率より大きい補充用の薬液を補充し、該薬液の濃度を一定の比率に維持することを特徴とする薬液の濃度管理方法。

IPC (3)：

B01F 15/04 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306

FI (3)：

B01F 15/04 A ,  H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/306 J