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J-GLOBAL ID：200903029234204029
半導体集積装置リードの検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992003082
Publication number (International publication number)：1993187846
Application date： Jan. 10, 1992
Publication date： Jul. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ICリードに接触しないでこれを検査するICリードの検査装置を提供する。【構成】 ICリードの屈曲変形を検出するための画像を形成するレーザ・スリット平行光源および画像取込み用カメラをX-Y-θアームに具備せしめ、ICをトレイ上面に載置収容したままそのリードを検査する検査装置を構成した。
Claim (excerpt)：
トレイ上面に載置収容された半導体集積装置のリードの屈曲変形を検出するための画像を形成するレーザ・スリット平行光源および画像取込み用カメラをX-Y-θアームに具備せしめたことを特徴とする半導体集積装置リードの検査装置。
IPC (3)：
G01B 11/24
, H01L 21/66
, H01L 23/50
