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J-GLOBAL ID：200903029237269288

ウェーハストッカ

Inventor： 保坂 英二 ,  吉田 久志 ,  狩野 利一 ,  開発 秀樹 ,  池田 和人
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993285610
Publication number (International publication number)：1995117812
Application date： Oct. 21, 1993
Publication date： May. 09, 1995
Summary：

【要約】【目的】半導体製造設備に於ける待機中のウェーハの自然酸化を防止する。【構成】ウェーハ23が装填されるウェーハカセット16と、少なくとも1バッチ分のウェーハカセットを収納するカセットストッカ2と、ウェーハ収納管5と、該ウェーハ収納管に気密に装入され少なくとも1バッチ分のウェーハ又はウェーハカセットを保持するボート27と、該ボートを前記ウェーハ収納管に対して装入引出しするボートエレベータ4と、外部搬送装置と前記カセットストッカに対してウェーハカセットを授受するカセット授受装置1と、前記カセットストッカと前記ボート間でウェーハ又はウェーハカセットの移載を行うウェーハ移載機3とを具備し、ウェーハ単体で、或はウェーハカセットごとウェーハ収納管内に装入され外気と遮断された状態で保管され、ウェーハの自然酸化が防止される。

Claim (excerpt)：

ウェーハが装填されるウェーハカセットと、少なくとも1バッチ分のウェーハカセットを収納するカセットストッカと、ウェーハ収納管と、該ウェーハ収納管に気密に装入され少なくとも1バッチ分のウェーハを保持するボートと、該ボートを前記ウェーハ収納管に対して装入引出しするボートエレベータと、外部搬送装置と前記カセットストッカに対してウェーハカセットを授受するカセット授受装置と、前記カセットストッカと前記ボート間でウェーハの移載を行うウェーハ移載機とを具備したことを特徴とするウェーハストッカ。

IPC (4)：

B65G 1/00 539 ,  B65G 1/00 521 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68