Pat
J-GLOBAL ID:200903029247222093
半導体装置及びその作製方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000142027
Publication number (International publication number):2001053285
Application date: May. 15, 2000
Publication date: Feb. 23, 2001
Summary:
【要約】【課題】 結晶粒の位置とその大きさを制御した結晶質半導体膜を作製し、さらにその結晶質半導体膜をTFTのチャネル形成領域に用いることにより高速動作が可能なTFTを実現することを目的とする。【解決手段】 基板1の主表面に密接して透光性と絶縁性を有する熱伝導層2を設け、その熱伝導層上の選択された領域に、島状またはストライプ状に形成した第1の絶縁層3を形成する。この上に第2の絶縁層4、半導体膜5を積層させる。最初、半導体膜5は非晶質半導体膜で形成され、レーザーアニールにより結晶化させる。第1の絶縁層3は熱伝導層2への熱の流出速度を制御する機能を有し、基板1上の温度分布の差を利用して第1の絶縁層3上に単結晶半導体膜を形成する。
Claim (excerpt):
ガラス基板の主表面に密接して形成された熱伝導率が10Wm-1K-1以上であり透光性を有する熱伝導層と、前記熱伝導層上の所定の位置に所定の形状で設けられた熱伝導率が10Wm-1K-1未満の第1の絶縁層と、前記第1の絶縁層上に選択的に形成され、水素が添加された単一の結晶粒から成る半導体膜とを有することを特徴とする半導体装置。
IPC (5):
H01L 29/786
, H01L 21/336
, G02F 1/1368
, G09F 9/30 338
, H01L 21/20
FI (6):
H01L 29/78 627 G
, G09F 9/30 338
, H01L 21/20
, G02F 1/136 500
, H01L 29/78 626 C
, H01L 29/78 627 E
F-Term (112):
2H092GA59
, 2H092HA01
, 2H092JA25
, 2H092JB42
, 2H092KA04
, 2H092MA30
, 5C094AA51
, 5C094AA60
, 5C094BA03
, 5C094BA27
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094DA09
, 5C094EA04
, 5C094HA05
, 5C094HA08
, 5C094HA10
, 5F052AA02
, 5F052DA02
, 5F052DB03
, 5F052EA12
, 5F052EA15
, 5F052JA01
, 5F110AA01
, 5F110AA09
, 5F110AA30
, 5F110BB02
, 5F110BB04
, 5F110BB10
, 5F110CC02
, 5F110DD02
, 5F110DD07
, 5F110DD12
, 5F110DD13
, 5F110DD14
, 5F110DD15
, 5F110DD17
, 5F110DD21
, 5F110EE01
, 5F110EE04
, 5F110EE05
, 5F110EE06
, 5F110EE08
, 5F110EE11
, 5F110EE14
, 5F110EE15
, 5F110EE27
, 5F110EE28
, 5F110EE36
, 5F110EE44
, 5F110FF02
, 5F110FF03
, 5F110FF04
, 5F110FF09
, 5F110FF28
, 5F110FF30
, 5F110FF32
, 5F110GG01
, 5F110GG02
, 5F110GG04
, 5F110GG13
, 5F110GG16
, 5F110GG25
, 5F110GG28
, 5F110GG32
, 5F110GG34
, 5F110GG43
, 5F110GG45
, 5F110GG51
, 5F110HJ01
, 5F110HJ04
, 5F110HJ12
, 5F110HJ23
, 5F110HL03
, 5F110HL04
, 5F110HL07
, 5F110HL12
, 5F110HL23
, 5F110HM12
, 5F110HM14
, 5F110HM15
, 5F110NN01
, 5F110NN02
, 5F110NN03
, 5F110NN04
, 5F110NN22
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110NN35
, 5F110NN36
, 5F110NN72
, 5F110NN73
, 5F110NN78
, 5F110PP01
, 5F110PP02
, 5F110PP03
, 5F110PP04
, 5F110PP05
, 5F110PP06
, 5F110PP10
, 5F110PP13
, 5F110PP23
, 5F110PP24
, 5F110PP29
, 5F110PP34
, 5F110PP35
, 5F110QQ09
, 5F110QQ11
, 5F110QQ24
, 5F110QQ25
, 5F110QQ28
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