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J-GLOBAL ID：200903029307138780

感光性化合物および感光性組成物

Inventor： 前田 勝美 ,  中野 嘉一郎 ,  岩佐 繁之 ,  長谷川 悦雄
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993233820
Publication number (International publication number)：1995092675
Application date： Sep. 20, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【構成】 本発明による感光性化合物(I)は、R1 、R4 が炭素数1ないし8の直鎖状、分岐状、または環状アルキル基、R2 は炭素数2ないし9の直鎖状、分岐状、または環状アルキル基、R3 、R5 は2-オキソアルキル基、Y- が対イオンであることを特徴とする。【効果】 本発明のアルキルスルホニウム塩は、220nm以下の遠紫外領域に対し高い透明性を有し、かつ遠紫外光等の放射線により有効にプロトン酸を発生することから、遠紫外光(とりわけ220nm以下の短波長光)用フォトレジストの感光剤(光酸発生剤)として有用である。【化7】

Claim (excerpt)：

下記の一般式(I)で表される感光性化合物【化1】(但し、R1 、R4 は炭素数1ないし8の直鎖状、分岐状、または環状アルキル基、R2 は炭素数2ないし9の直鎖状、分岐状、または環状アルキル基、R3 、R5 は2-オキソアルキル基、Y- は対イオンで表す。)

IPC (6)：

G03F 7/029 ,  C07C381/12 ,  C09K 3/00 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-017570   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 特開平3-095556