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J-GLOBAL ID:200903029313251512

クリーンベンチ及びその配列構造

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 江原 省吾 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992334816
Publication number (International publication number):1994178907
Application date: Dec. 16, 1992
Publication date: Jun. 28, 1994
Summary:
【要約】【目的】 作業空間Sにおける空気流の乱れを回避し、水平層流状態を維持させることによって、作業空間Sの清浄度を維持・向上させる。【構成】 クリーンベンチは、作業空間Sに面した垂直方向の吹出し面2、および、この吹出し面2の背面側に内部空間3を隔てて対向した吸込み面4を有するベンチ本体1と、ベンチ本体1の内部空間3に配置された送風ファン5とを主要な構成要素とする。ベンチ本体1の内部空間3は仕切り板6によって略中央から垂直方向に仕切られ、同図で右側が、吹出し面2に面した吹出し側空気通路3a、左側が、吸込み面4に面した吸込み側空気通路3bになっている。
Claim (excerpt):
作業空間に面した垂直方向の吹出し面、および、この吹出し面の背面側に内部空間を隔てて対向し、かつ、この吹出し面と略同一面積の垂直方向の吸込み面を有するベンチ本体と、このベンチ本体の内部空間に配置された送風手段とを備え、前記送風手段により、前記吸込み面から吸込んだ背面側の空気を前記吹出し面に装着された空気フィルタを通して作業空間に水平層流状態で吹出させることを特徴とするクリーンベンチ。
IPC (2):
B01D 46/52 ,  F24F 7/06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開平3-284317
  • 特開平2-115642
  • 特開平4-152620
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