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J-GLOBAL ID：200903029324799862
整合装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鎌田 久男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992283924
Publication number (International publication number)：1994110216
Application date： Sep. 29, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 高精度な位置あわせを継続的に行うことを可能とする。【構成】 感光性のある基板3に原版フィルム1,2を密着させて露光する前工程で、前記基板と前記原版フィルムとを整合する整合装置であって、原版フィルムが位置決め貼付された透光板11,12と、透光板に整合代分だけ移動可能に取り付けられ、基板に形成された整合用孔に係合する整合ピン13と、原版フィルム及び基板に設けられた整合マークを検出するマーク検出手段25と、整合ピンを着脱自在であって、マーク検出手段の検出結果に基づいて、整合ピンを移動可能な整合手段21,23,24とを含む。
Claim (excerpt)：
感光性のある基板に原版フィルムを密着させて露光する前工程で、前記基板と前記原版フィルムとを整合する整合装置であって、前記原版フィルムが位置決め貼付された透光板と、前記透光板に整合代分だけ移動可能に取り付けられ、前記基板に形成された整合用孔に係合する整合ピンと、前記原版フィルム及び前記基板に設けられた整合マークを検出するマーク検出手段と、前記整合ピンを着脱自在であって、前記マーク検出手段の検出結果に基づいて、前記整合ピンを移動可能な整合手段とを含み、前記整合手段により前記整合ピンを介して前記基板を整合して、前記透光板に貼付された前記原版フィルムに前記基板を密着させたのち、前記整合ピンの保持を解除して前記透光板を次工程に搬送することを特徴とする整合装置。
IPC (3)：
G03F 9/00
, G03B 27/02
, H01L 21/027
