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J-GLOBAL ID：200903029325452912

分析電子顕微鏡及び分析方法

Inventor： 須賀 三雄 ,  高口 雅成
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 薄田 利幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995031917
Publication number (International publication number)：1996226904
Application date： Feb. 21, 1995
Publication date： Sep. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】試料の拡大像を観察すると共に、その試料の着目する微小部を高感度で元素分析し、さらに、分析原子の電子状態を表すケミカルシフトまで測定できる分析電子顕微鏡及び分析方法を実現する。【構成】透過型電子顕微鏡101において、電子銃から放出された電子線をコンデンサレンズ102と対物レンズ103とによって試料104上に収束し、試料104から放出された特性X線を試料104の近傍に設置された超電導X線検出器107により検出し、信号処理系112により元素分析をする。【効果】試料の1nm以下の微小領域について、0.1原子%以下の微量元素の検出が可能となり、かつケミカルシフトの測定も可能となる。

Claim (excerpt)：

電子顕微鏡により試料の拡大像を観察すると共に、上記試料の特定部位に電子線を照射して上記試料から放出される特性X線をX線検出器により検出して上記試料の特定部位の元素分析を行う分析電子顕微鏡において、上記X線検出器は、少なくとも超電導体を含んで構成されてなる超電導検出器であることを特徴とする分析電子顕微鏡。

IPC (4)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/244 ZAA ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/26

FI (4)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/244 ZAA ,  H01J 37/252 A ,  H01J 37/26