元素分析方法及び元素分析装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林忠 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997262388
Publication number (International publication number)：1999102654
Application date： Sep. 26, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】高い空間分解能で元素分析を行うことができ、軽元素の分析が可能な元素分析装置を実現する。【解決手段】筐体6に電子銃8が備えられ、筐体6の内部で、電子銃8から発せられる電子ビームの進行方向に、コンデンサーレンズ1、試料ホルダー7、対物レンズ2、中間レンズ3、投影レンズ4及び蛍光板5がこの順番で電子銃8側から並べられている。試料ホルダー7に試料が取り付けられ、試料ホルダー7の試料の近傍に第1円筒レンズ10が配置される。第1円筒レンズ10及びイオンエネルギーアナライザー11などで質量分析部9が構成されている。電子銃8から発せられた電子ビームがコンデンサーレンズ1により収束されて試料ホルダー7の試料に照射される。これにより、試料ホルダー7の試料から放出された2次イオンが第1円筒レンズ10から質量分析部9に取り込まれ、その2次イオンが質量分析部9で分析される。

Claim (excerpt)：

電子ビームを発生する段階と、該電子ビームを収束させて該電子ビームを試料に照射する段階と、前記試料に電子ビームを照射させることで前記試料から放出される二次イオンを検出して該二次イオンの質量分析を行う段階とを有する元素分析方法。

IPC (4)：

H01J 37/252 , G01N 23/225 , G01N 27/62 , H01J 49/26

FI (4)：

H01J 37/252 Z , G01N 23/225 , G01N 27/62 L , H01J 49/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭63-081251
特開昭54-003593

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