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J-GLOBAL ID：200903029364786623
気体用流量計
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤島 洋一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994060157
Publication number (International publication number)：1995243877
Application date： Mar. 04, 1994
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：
【要約】【目的】 気体の種類によって測定値が変化する気体用流量計において、気体の種類が変わった場合でも正確に流量を測定できるようにする。【構成】 ヒータ制御部16はヒータ13を一定の温度に制御あるいは一定の電流または電力で駆動する。流量演算部20はヒータ電流測定部14またはヒータ温度測定部15の測定値に基づいて流量を演算する。ヒータ電流測定部14またはヒータ温度測定部15の測定値が変化したとき、変化時間検出部17は変化時間を検出し、変化率検出部18は変化率を検出する。判別部19は変化時間および変化率に基づいて、ヒータ電流測定部14またはヒータ温度測定部15の測定値の変化が流量の変化によるものか気体の種類の変更によるものかを判別し、気体の種類の変更による場合には、流量演算部20で流量を演算する際の演算式の係数を変更する。
Claim (excerpt)：
流量および気体の種類に応じて変化するパラメータを測定する測定手段と、この測定手段の測定値が変化したときに、変化に要した時間を検出する変化時間検出手段と、この変化時間検出手段の検出値に基づいて、前記測定手段の測定値の変化が流量の変化によるものか気体の種類の変更によるものかを判別する判別手段と、この判別手段の判別結果と前記測定手段の測定値とに基づいて流量を演算する流量演算手段とを具備することを特徴とする気体用流量計。
IPC (2)：
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