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J-GLOBAL ID：200903029407137306

3次元形状測定機及びその誤差校正方法

Inventor： 神谷 誠一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 大塚 康徳 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002028331
Publication number (International publication number)：2003227713
Application date： Feb. 05, 2002
Publication date： Aug. 15, 2003
Summary：

【要約】【課題】円筒座標系を採用した3次元形状測定機の軸位置関係に起因する測定誤差を除去する。【解決手段】2つの直進軸であるR軸及びZ軸と1つの回転軸であるθ軸とから構成される円筒座標系を用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機に用いられる、3次元形状測定機の誤差校正方法であって、仮想して定義された円筒座標系の各軸の軸位置関係と3次元形状測定機の円筒座標系の各軸の軸位置関係とのズレ量を検出するズレ量検出工程と、3次元形状測定機の測定結果を、仮想して定義された軸位置関係における測定結果へ変換させるための校正値をズレ量から算出する校正値算出工程と、3次元形状測定機で測定した被測定物の測定結果を校正値算出工程で算出した校正値を用いて校正する校正工程とを具備する。

Claim (excerpt)：

2つの直進軸であるR軸及びZ軸と1つの回転軸であるθ軸とから構成される円筒座標系を用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機に用いられる、3次元形状測定機の誤差校正方法であって、仮想して定義された円筒座標系の各軸の軸位置関係と3次元形状測定機の円筒座標系の各軸の軸位置関係とのズレ量を検出するズレ量検出工程と、3次元形状測定機の測定結果を、前記仮想して定義された軸位置関係における測定結果へ変換させるための校正値を前記ズレ量から算出する校正値算出工程と、3次元形状測定機で測定した被測定物の測定結果を前記校正値算出工程で算出した校正値を用いて校正する校正工程とを具備することを特徴とする3次元形状測定機の誤差校正方法。

F-Term (7)：

2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069FF07 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069JJ04 ,  2F069NN17