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J-GLOBAL ID：200903029427163761

振動アクチュエータ

Inventor： 岡崎 光宏
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 鎌田 久男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996136617
Publication number (International publication number)：1997322572
Application date： May. 30, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 特願平6-275022号により提案した異形モード縮退型の振動アクチュエータでは、固定軸1に螺着されるボルト3a,3bによる弾性体2a,2bに対する振動拘束が大きく、駆動効率を低下させてしまう。【解決手段】 半円柱状部材2,3を組み合わせて構成され、軸回りに2次の捩じり振動と軸方向への1次の縦振動とを発生する振動子1と,振動子1の中空部を貫通して、振動子1の内面との間に隙間17を形成して振動子1を支持する固定軸7とを備え、振動子1と相対運動部材6との間で相対運動を発生する振動アクチュエータ10であって、振動子1と固定軸7とが、振動子1及び固定軸7に貫着されるとともに、振動子1と固定軸7との隙間17において弾性変形して、振動子1に発生する捩じり振動及び縦振動の双方を消失させないピン12により、固定される。

Claim (excerpt)：

複数の弾性部材を組み合わせて構成され、軸回りに1次以上の捩じり振動と軸方向への1次以上の縦振動とを発生する中空棒状の振動子と,前記振動子の中空部を貫通して、前記振動子の内面との間に隙間を形成して前記振動子を支持する固定部材とを備え、前記振動子と前記振動子の一方の端面に加圧接触される相対運動部材との間で相対運動を発生する振動アクチュエータであって、前記振動子と前記固定部材とは、前記振動子及び前記固定部材に貫着されるとともに、前記隙間において弾性変形して前記捩じり振動及び/又は前記縦振動を消失させない棒状の支持部材により、固定されることを特徴とする振動アクチュエータ。