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J-GLOBAL ID：200903029447094723

走査電子顕微鏡

Inventor： 有馬 純太郎
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999056609
Publication number (International publication number)：1999316115
Application date： Nov. 01, 1985
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、種々の形状や大きさのパターンに対する測長の精度を向上するのに好適な測長機能を備えた走査電子顕微鏡の提供を目的とするものである。【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、測長機能を備えた走査電子顕微鏡において、走査線を加算平均する領域を規定する2本の境界線を表示する手段と、境界線の位置を調節する手段を備え、調節された2本の境界線内の領域の走査線を加算平均した結果に基づいて寸法測長を行うことを特徴とする測長機能を備えた走査電子顕微鏡を提供する。

Claim (excerpt)：

試料上を電子ビームで走査し、前記試料で発生した信号により表示装置に試料像の表示を行う測長機能を備えた走査電子顕微鏡において、指定領域内の走査線を加算平均しその結果に基づいて寸法測長を行う手段と、前記指定領域とそれ以外の領域を示す2本の境界線を前記試料像上に表示する手段と、前記2本の境界線の位置を調節する手段と、当該調節された2本の境界線を表示する手段を備え、当該調節された2本の境界線内の領域の走査線を加算平均した結果に基づいて寸法測長を行うことを特徴とする測長機能を備えた走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 15/00 ,  H01J 37/22 502

FI (2)：

G01B 15/00 B ,  H01J 37/22 502 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭59-210312
  
• 特開昭59-112217