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J-GLOBAL ID：200903029453357302

新規なビスフェノール誘導体

Inventor： 浦野 文良 ,  安田 高訓 ,  松田 裕史
Applicant, Patent owner： 和光純薬工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993273009
Publication number (International publication number)：1995101892
Application date： Oct. 05, 1993
Publication date： Apr. 18, 1995
Summary：

【要約】【構成】下記一般式〔1〕【化1】[式中、R1は炭素数1〜6の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表し、R2は水素原子又はメチル基を表わし、R3及びR4は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜5の直鎖状又は分枝状のアルキル基を表し、Xは下記一般式〔2〕【化2】(但し、R5及びR6は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表し、又、R5とR6は互いに結合してメチレン鎖を形成していても良い。)で示される基又は-SO2-を表し、Yは単結合、-C(CH3)2COO-又は-CH2COO-を表す。]で示されるビスフェノール誘導体。』【効果】本発明のビスフェノール誘導体は酸の作用で容易に保護基を脱離してフェノール化合物又はカルボン酸化合物に変化する。半導体分野、特に微細加工が要求される半導体素子製造のリソグラフィーでは、この性質を利用して化学増幅型3成分系レジスト材料の溶解阻害剤として使用する事により高解像性能が達成できる。

Claim (excerpt)：

下記一般式〔1〕【化1】[式中、R1は炭素数1〜6の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表し、R2は水素原子又はメチル基を表わし、R3及びR4は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜5の直鎖状又は分枝状のアルキル基を表し、Xは下記一般式〔2〕【化2】(但し、R5及びR6は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表し、又、R5とR6とが互いに結合してメチレン鎖を形成していても良い。)で示される基又は-SO2-を表し、Yは単結合、-C(CH3)2COO-又は-CH2COO-を表す。]で示されるビスフェノール誘導体。

IPC (6)：

C07C 43/205 ,  C07C 69/708 ,  C07C 69/712 ,  C07C317/22 ,  C07C409/38 ,  G03G 5/06 319