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J-GLOBAL ID：200903029465476889

欠陥検査装置

Inventor： 岡村 広紀 ,  椎森 佳子
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 山田 文雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992103544
Publication number (International publication number)：1993280960
Application date： Mar. 30, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 欠陥の形状のカテゴリを識別する欠陥検査装置において、学習デ-タを用いて学習を行うことにより、短時間の内に適切な欠陥識別アルゴリズムが得られるようにする。【構成】 欠陥の少くとも長さと幅と面積とを含む特徴量を求め、この特徴量を入力として欠陥の形状のカテゴリを識別するニューラルネットワークを備える。ニューラルネットワークは3層構造とし、入力層のユニット数を少くとも長さ、幅、面積を含む特徴量を成分とする特徴ベクトルの次元数に、中間層のユニット数を特徴空間上での識別平面数に、出力層のユニット数を形状のカテゴリ数にそれぞれ一致させる。更に欠陥の等級識別にニューラルネットワークを用いてもよい。教師信号をメンバーシップ関数により求めた確信度で与え、識別結果にこのメンバーシップ関数により決まる確信度を付加するようにしてもよい。

Claim (excerpt)：

検査対象を走査して得た画像信号を微分フィルタを含む空間フィルタリング処理した微分画像を用いて検査対象の欠陥を含む領域を抽出し、欠陥の形状のカテゴリを識別する欠陥検査装置において、前記欠陥の少くとも長さと幅と面積とを含む特徴量を求める特徴量計測処理手段と、前記特徴量を入力として欠陥の形状のカテゴリを識別するニューラルネットワークとを備えることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (6)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/89 ,  G06F 15/18 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 330