Pat

J-GLOBAL ID：200903029471926250

静電チャック

Inventor： 茂木 弘 ,  新井 健一 ,  小嶋 伸次 ,  久保田 芳宏
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994088390
Publication number (International publication number)：1995297265
Application date： Apr. 26, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は静電吸着力飽和時間と残留吸着力消滅時間とからなる応答特性が短く、効率のよい静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャックは、電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この絶縁性誘電体層の吸着面側の表面粗さRaを0.25μm以下とすると共に、平面度を20μm以下としてなることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この絶縁性誘電体層の吸着面側の表面粗さRaを0.25μm以下とすると共に、平面度を20μm以下としてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00